陈涛,张秉彝

• 1:中国地质大学
• 2:中国地质大学

摘要(Abstract)：

文中简述了电子探针试样蒸镀碳膜及膜厚控制的意义,介绍讨论了几种膜厚监测方法,并在其中的一种方法——监测模拟样品表面电阻变化的基础上,给出了一个膜厚自动控制装置的设计方案,结合DV502蒸镀仪进一步介绍了该装置的电路原理、实际制作及其蒸镀技术.

关键词(KeyWords)：

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 陈涛,张秉彝

参考文献(References)：

• [1]Reed,S.J.B.,Electron Microprobe Analysis,Cambridge University Press,1975
• [2]周剑雄,镀膜技术的某些基本问题的讨论,《扫描电子显微术》,原子能出版社,1983年,第113页